Estaldurak ekoizteko lerroak substratuaren gainazaleko tratamendurako oinarrizko ekipoak dira, ekoizpen masibo eraginkorra lortzeko metodo fisiko edo kimikoak erabiliz. Elektronikan, automobilgintzan, optikan eta energia berrietan erabiltzen dira.
1. Erdieroale bertikala etengabeko Magnetron Sputtering estaldura produkzio-lerroa
Ezaugarriak: Erabat automatizatutako funtzionamendua, urruneko monitorizazioa onartzen du; Piezen bastidoreen elikadura automatikoa ekoizpen eraginkortasun handiagoa lortzeko; xede-egituraren diseinuak erabilera areagotzen du eta sputtering uniformeagoa lortzen du; substratuaren ionizazio-sistemak filmaren atxikimendu sendoagoa bermatzen du.
Aplikazioak: zelula fotovoltaikoetan, hidrogeno erregai-pilen plaka bipolrretan, ITO beira eroaleetan, automozio-pantailetan eta zeramikazko zirkuitu plaketan erabiltzen da.
2. Zeramikazko Kondentsadore Horizontal Etengabeko Magnetron Sputtering Estaldura Produkzio Lerroa
Ezaugarriak: kontrol guztiz automatizatua ordenagailu industrial baten bidez; piezak automatikoki garraiatzea; zulo-tik-zulorako estaldurarako helburu-egitura optimizatua; sputtering uniformetasun handia; substratuaren ionizazio sistemak filmaren kalitatea hobetzen du.
Aplikazioak: gainazaleko kondentsadoreetan eta{0}}film meheko erresistentzietan erabiltzen da.
3. DPC Horizontal Etengabeko Magnetron Sputtering Estaldura Produkzio Lerroa
Ezaugarriak: Ekoizpen guztiz automatizatua; 288 pieza orduko; -alde bikoitzeko estaldurak uniformetasuna bermatzen du; Eremu magnetiko optimizatua betetze efektuaren bidez hobetzen da; eroankortasuna eta beroa xahutzeko eraginkortasuna hobetu.
Aplikazioak: gailu erdieroaleetan erabiltzen da, hala nola zeramikazko substratuetan, zeramikazko kondentsadoreetan eta LED zeramikazko euskarrietan.
